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氫氟酸

作者: 來源: 日期:2016/4/19 15:13:35 人氣:3136
項目單位UP級規格EL級規格
含量%49.0~50.049.0~50.0
外觀-澄清無色澄清無色
灼燒殘渣(以硫酸鹽計)ppm-≤5
顆粒(≥0.5um)個/ml≤25-
顆粒(≥0.3um)個/ml≤150-
顆粒(≥0.2um)個/ml≤300-
顆粒(≥1.0um)個/ml-≤25
氟硅酸H2SiF6ppm≤100≤200
氯化物(Cl)ppb≤2000≤2000
硝酸鹽(NO3 )ppb≤3000≤3000
磷酸鹽(PO4 )ppb≤1000≤1000
硫酸鹽和亞硫酸鹽(SO4)ppb≤2000≤3000
鋁(Al)ppb≤10≤20
銻(Sb)ppb≤15≤30
砷(As)ppb≤15≤30
鋇(Ba)ppb≤10-
鈹(Be)ppb≤5-
鉍(Bi)ppb≤5-
硼(B)ppb≤10≤50
鎘(Cd)ppb≤10-
鈣(Ca)ppb≤10≤50
鉻(Cr)ppb≤10≤10
鈷(Co)ppb--
銅(Cu)ppb≤10≤20
鎵(Ga)ppb≤10-
鍺(Ge)ppb≤10-
金(Au)ppb≤10-
鐵(Fe)ppb≤10≤100
鉛(Pb)ppb≤10≤20
鋰(Li)ppb≤5-
鎂(Mg)ppb≤10≤20
錳(Mn)ppb≤10≤20
鉬(Mo)ppb≤10-
鎳(Ni)ppb≤10≤20
鈮(Nb)ppb--
鉀(K)ppb≤10≤50
銀(Ag)ppb≤5-
鈉(Na)ppb≤10≤80
鍶(Sr)ppb≤10-
鉭(Ta)ppb≤10-
鉈(Tl)ppb≤10-
鈦(Ti)ppb≤10≤20
錫(Sn)ppb≤10≤20
釩(V)ppb≤10----
鋅(Zn)ppb≤10≤20
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